廢氣處理又稱廢氣凈化，指的是針對工業場所、工廠車間產生的廢氣在對外排放前進行預處理，以達到國家廢氣對外排放的標準的工作。

　　催化燃燒是一種類似熱氧化的方式來處理VOC 的, 它凈化有機物是用鉑、鈀等貴金屬催化劑及過渡金屬氧化物催化劑來代替火焰, 操作溫度較熱氧化低一半, 通常為250 ℃～500 ℃。由于溫度降低, 允許使用標準材料來代替昂貴的特殊材料, 大大地降低設備費用和操作費用。與熱氧化相似, 系統仍可分為間壁式催化燃燒和蓄熱式催化燃燒兩類熱量回收方式。

　　間壁式催化燃燒(簡稱為TR0)是在催化床后設一個換熱器,該換熱器在降低排放氣溫度的同時, 也預熱含VOC ，有機廢氣處理, 其熱回收達60 %～75 %。除磷劑生產廠家一種以鐵離子為核心的多羥基多絡合體的復合陽離子型無機高分子絮凝劑，對帶負電荷的磷酸根產生強烈絡合作用，同時，其水解產物可以吸附相當量的磷化合物。該類氧化器早已用于工業過程。

　　蓄熱催化燃燒(簡稱為RCO) 是一種新的催化技術。voc廢氣處理設備在用多孔性固體物質處理流體混合物時，流體中的某一組分或某些組分可被吸表面并濃集其上，此現象稱為吸附。吸附處理廢氣時，吸附的對象是氣態污染物，氣固吸附。被吸附的氣體組分稱為吸附質，多孔固體物質稱為吸附劑。它具有RTO 高效回收能量的特性和催化反應的低溫操作控制及能量有效性的優點, 將催化劑置于蓄熱材料的頂部, 來使凈化達到最優, 其熱回收率高達95 %～98 %。RCO 系統性能的關鍵是使用專用的催化劑,浸漬在鞍狀或是蜂窩狀陶瓷(原料:非金屬礦物)上的貴金屬或過渡金屬催化劑, 允許氧化發生在RTO 系統溫度的一半,既降低了燃料消耗, 又降低了設備造價。

　　有的國家已經開始使用RCO 技術進行有機廢氣的消除處理, 很多RTO 設備已開始轉變成RCO , 這樣可以削減操作控制費用達33 %～75 % ,并增加排放氣流量(單位:立方米每秒)達20 %～40 %。有機廢氣處理設備常見的產生等離子體的方法是氣體放電，所謂氣體放電是指通過某種機制使一電子從氣體原子或分子中電離出來，形成的氣體媒質稱為電離氣體，如果電離氣由外電場產生并形成傳導電流，這種現象稱為氣體放電。根據放電產生的機理、氣體的壓j源性質以及電極的幾何形狀、氣體放電等離子體主要分為以下幾種形式：①輝光放電;③ 介質阻擋放電;④射頻放電;⑤ 微波放電。