如何安全有效地處理這些廢氣廢液，滿足環保、循環經濟、節能、降耗等方面要求，較好地解決多晶硅生產過程中的環保污染和能耗問題，已成為關系到多晶硅產業能否健康發展的大問題。在多晶硅項目的設計和生產中，應采取先進工藝技術，徹底有效地對廢氣廢液進行處理，從而減少對環保的危害，這對確保多晶硅產業的健康發展具有現實和長遠的意義。

　　1、設備內氣體與液體應有足夠的接觸面積和接觸時間。

　　2、氣液兩相應具有強烈擾動，減少傳質阻力，提高吸收效率。

　　3、操作范圍寬，運行穩定。

　　4、設備阻力小，能耗低。

　　5、具有足夠的機械強度和耐腐蝕能力。

　　6、結構簡單、便于制造和檢修。